在半导体生产中,光刻机是核心设备,不仅决定了芯片制造的工艺水平,也是耗时最多、成本最高的一步,目前先进的 7nm 、 5nm 及接下来的 3nm 都需要 EUV 光刻机,一台售价将近 10 亿人民币,目前还是供不应求。
EUV 光刻机目前只有荷兰 ASML 公司可以生产,他们的产能将决定全球先进工艺扩张的速度,日前 ASML 公司高级副总裁 Christophe Fouquet 在高盛会议上确认,将增加 EUV 光刻机的产能。
他们原本预计在 2025 年的时候 EUV 年产能是 70 台,现在决定提升到每年 90 台,有助于缓解产能不足的问题。
今年 Q2 季度还没结束, ASML 公司就收到了超过 100 台 EUV 光刻机的订单,这已经大大超过了他们的产能,今年该公司计划出货 EUV 光刻机不过 55 台,只能满足一半的订单量,客户都要排队等待。
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