SK海力士计划在1c DRAM生产中采用新型Inpria MOR光刻胶

据TheElec消息，韩国半导体巨头SK海力士计划在第6代DRAM的生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶（MOR）。这是MOR首次应用于DRAM量产工艺。消息人士透露，SK海力士将在其1c DRAM上的五个极紫外(EUV)层之一使用MOR进行绘制。此外，三星电子也将追求类似无机PR材料的应用。