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美光揭秘最先进1β内存:13nm工艺、无需EUV光刻机

全球DRAM内存芯片主要垄断在三星、SK海力士及美光手里,三家的份额高达95%,同时技术也是领先的,美光前不久更是抢先宣布量产1β内存芯片,这是当前最先进的内存芯片。

内存工艺进入20nm节点之后,厂商的命名已经发生了变化,都被称为10nm级内存,但有更细节的划分,之前是1x、1y 和 1z三代,后面是1α,1β,1γ。

在1α,1β,1γ这三代中, 三星在1α上就开始用EUV光刻工艺,但是代价就是成本高,美光现在量产的1β工艺就是最先进的。

1β到底相当于多少nm?美光日前在日本举行了一次沟通会,介绍了1β内存的一些进展,指出它的工艺水平相当于13nm,而且美光依然没有使用EUV工艺,避免了昂贵的光刻机。

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