ASML EUV光刻机被批“电老虎”：功耗100万瓦 是上代10倍

当前，7nm以及更先进芯片制造有赖于ASML的EUV光刻机才能实现，最新款单价高达1.5亿美元，包含10万个部件和长达2公里的布线。

这么一台设备除了价格昂贵、零件繁多、造型庞大等，耗电能力同样不容小觑。

据媒体披露， 当前ASML最新一代EUV光刻机的额定功耗是100万瓦，约是前几代设备的10倍 。仅台积电就拥有超过80台EUV光刻机，粗算之下，开机一天的耗电量高达上百万度。

类似地，三星在韩国的6个半导体制造基地去年的总能耗占到集团的3%，未来更多EUV光刻机进厂部署后，这个数字还可能继续提高。