我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质

据悉，市场监管总局近日批准建立平面结构纳米线宽标准物质和立体结构纳米线宽标准物质。这一举措将打通极小纳米线宽量值向硅晶格常数溯源的计量途径，为我国集成电路制造提供最精准的“标尺”。该技术将促进集成电路芯片制造水平的提升，推动我国集成电路产业发展。