台积电首台ASML High NA EUV本月将进机？双方回应

据台湾经济日报，业界传出，台积电首台ASML High NA EUV光刻系统设备传本月将进机。该款设备价格逾4亿欧元，由于其规格特殊且精密，无法分拆入厂。光镜头镜片高度比一间会议室还高且长度也远超前一代设备。因此，在运送过程中需要联通的高速公路交管或特定深夜运输以避免交通不顺。对于这一消息，ASML表示不评论单一客户；而台积电则表示不回应市场传闻。