俄罗斯绕过制裁 为35年前的光刻机续命：自研光刻机已亮相

快科技9月9日消息，据国外媒体报道称，俄罗斯近日绕过了制裁，为本国存在了35年的光刻机续命。

报道中提到，尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器，但俄罗斯公司仍在2022年和2023年成功获得了ASML 1990年代芯片制造机器的备件。

俄罗斯进口商已经想方设法为ASML的PAS 5500光刻工具引进了至少170批备件，而ASML 则表示，近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何往来。

ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出，并在20世纪90年代和2 世纪初不断发展。如今，PAS 5500系列包括i-line、氟化氪（KrF）步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩（ArF）步进扫描系统。