打破日本垄断 三星与韩国厂商合作开发成功EUV光刻胶

         EUV 光刻工艺除了需要 EUV 光刻机之外，也需要配套的 EUV 光刻胶，目前这一市场也主要被日本厂商垄断，现在三星与韩国半导体厂商东进合作开发成功 EUV 光刻胶，已经通过验证。

        东进半导体 19 日宣布，近期通过了三星电子的 EUV PR （光刻胶）可靠性测试。

         消息人士称，东进半导体在其位于京畿道华城的工厂开发了 EUV PR ，并在三星电子华城 EUV 生产线上对其进行了测试，并已通过可靠性测试。

        PR ，也称为光刻胶，是半导体曝光工艺中的关键材料。

         它应用于芯片上，当用半导体曝光设备照射光时，会发生化学反应并改变物理性质，通过用显影剂冲洗掉 PR 来绘制微电路，只留下必要的部分。

         2019 年， 日本与韩国爆发争议之后曾经限制三种重要的半导体材料对韩国的出口， EUV 光刻胶就是其中之一， 为此韩国公司也加快了 EUV 光刻胶的研发。

          虽然已经通过了测试，不过三星是否会在 EUV 生产线上立即使用东进半导体的 EUV 光刻胶还不确定，三星及东进拒绝表态。

　　【来源：快科技】【作者：宪瑞】