首页 > 业界资讯 > 正文

要EUV光刻机?中芯国际:量产和研发工艺暂不要

       EUV 光刻机是制造 7nm 以下节点先进工艺的必备工具,目前国内还没有 EUV 设备。作为国内最先进的晶圆代工厂,中芯国际董事长周子学日前表态,该公司已经量产和研发的工艺还不需要 EUV 光刻机。

       光刻是半导体芯片制造中最费时间也是最费成本的环节之一,而且它决定了芯片的工艺水平,常说的 XXnm 工艺主要是看光刻机水平, 10nm 工艺之后难度越来越大,光刻机也需要升级到 EUV 级别。

       台积电在第一代 7nm 工艺上没有使用 EUV 光刻机,但是 7nm 之后的工艺就很难避开 EUV 光刻机了, 理论上可以用多重曝光的方式制造 5nm 级别的芯片,但是成本、良率都是个问题,无法拒绝 EUV 光刻机。

       目前 EUV 光刻机只有荷兰 ASML 公司才能生产,单台售价超过 1.2 亿欧元,约合 10 亿元一台,此前报道称中芯国际订购了一台 EUV 光刻机用于先进工艺研发,本应该在 2019 年交付,不过 ASML 公司一直没被批准出售。

       日前在回应投资者提问时, 中芯国际董事长兼执行董事周子学表示,关于设备采购公司依据相关商业协议进行,不对单一设备的采购情况进行评论。公司目前量产和主要在研项目暂不需用到 EUV 光刻机。

       根据中芯国际之前所说,在 14nm 工艺之后,中芯国际还有 N+1 N+2 代工艺,其中 N+1 工艺相比于 14nm 性能提升 20 %、功耗降低 57 %、逻辑面积缩小 63 %, SoC 面积缩小 55 %,之后的 N+2 工艺性能和成本都更高一些,这两个工艺都不需要 EUV 光刻机。

  【来源:快科技】【作者:宪瑞】

网友评论

三日内热门评论文章
热门IT产品
  1. ¥7599
    苹果iPhoneX 64GB
    ·
  2. ¥5799
    三星S9
    ·
  3. ¥4498
    vivo NEX旗舰版
    ·
  4. ¥4999
    OPPO Find X
    ·
  5. ¥1799
    努比亚Z18mini
    ·
  6. ¥1499
    OPPO A5
    ·
  7. ¥1999
    荣耀Play(4GB RAM)
    ·
  8. ¥1598
    vivo Y85
    ·
  9. ¥3499
    坚果R1(6GB RAM)
    ·
  10. ¥3599
    一加6(8GB RAM)
    ·
为您推荐
  • 相关阅读
  • 业界资讯
  • 手机通讯
  • 电脑办公
  • 新奇数码
  • 软件游戏
  • 科学探索