提到荷兰 ASML 公司，大家都知道他们是全球唯一的 EUV 光刻机供应商， 7nm 及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过 ASML 不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品—— 第一代 HMI 多光束检测机 HMI eScan1000 ，适用于 5nm 及更先进工艺，使得产能大涨 600% 。
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多， HMI eScan1000 就是一套基于 HMI 多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产生、控制多个电子束，然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量，并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量，还要有计算系统处理电子束的数据。
简单来说， ASML 研发的这个 HMI eScan1000 机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，工艺越先进，检测系统就越重要，它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。
ASML 的 HMI eScan1000 的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了 600% ，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
目前 HMI eScan1000 可以用于 5nm 及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来 ASML 还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。
【来源：快科技】【作者：宪瑞】
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